晶圓尺寸瑕疵檢測

型號 : C017-100
直徑量測、厚度及瑕疵(孔洞、毛邊、色差、淺刮、橘皮)檢測、依瑕疵長度大小判別晶圓等級。
可放置6/8/12吋晶圓,檢測量測結果資料數據化。