• 顯微鏡自動對焦系統,解決影像判讀困難
  • 多元性整合設備,亦可整合機械手臂
  • 資料可與MES系統整合

晶圓表面缺陷檢測系統

型號 : SE-5AT / SE-5AT1-100

優勢與特色

● AI 瑕疵影像處理與深度學習

自行研發機器視覺整合影像處理和AI影像深度學習,可將各瑕疵影像進行CNN深度學習,提升檢測精度。

可應用於半導體晶圓瑕疵檢測。

● 多元性自動化整合

系統整合高速工業相機、光學系統和高精度光學尺XY電動位移平台,可實現快速檢測;

此外,系統亦可整合機械手臂,提升效率。

● 自動辨識、分類計數、資料可與MES系統整合

自動抓取、辨識晶圓表面的瑕疵,自動分類計數,最後的資料結果可以上傳MES系統。

● 顯微鏡自動對焦系統

解決高倍顯微影像景深淺不容易對焦,造成影像判讀困難的問題。

光學系統

無線遠光學補正系統

顯微鏡機身

顯微鏡術

明視野

倍率

0.68X-5X

照明系統

環形光(檢測油漬)

LED光源

內向軸光(檢測 particle)

LED光源

高速工業相機

解析度

4000*3000 pixel

Frame Rate

32 FPS

Readout Method

Global shutter

Sensor Format

1"

Pixel size

3.45μm

工業電腦

CPU

I7-8700

記憶體

64GB,DDR 266MHz

固態硬碟容量

2TB

顯示卡

Nvadia GTX1050TI 4GB

線性馬達

高精度位移平台搭配0.1μm光學尺,可兼容2~12吋晶圓

系統軟體功能

1.系統自動抓取玻璃表面瑕疵/Particle,自動辨識並分類技術

2.掃描區域可全掃或自訂義

數據輸出格式

1.瑕疵/ Particle在玻璃表面之分布圖

2.量測數據輸出txtExcel